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SED-500ZFDM-Z
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SED-500ZFDM-Z — Small / Laboratory-Type Vacuum Evaporation Coating Machine
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SED-500ZFDM-Z Small/Lab-Type Vacuum Evaporation Coating Machine . High-vacuum coater developed by combining multiple vacuum coating technologies; designed for scientific research,teaching,sample prototyping,and board-lev
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Como funciona
Resistance thermal evaporation: the evaporation transformer supplies low-voltage high-current power to three independent evaporation electrode assemblies at the bottom of the vacuum chamber. Evaporation material (boat / crucible) is heated to evaporation temperature under high vacuum; vapour travels upward and condenses on the substrate (fixture-mounted above) to form the coating. PLC + HMI control the pump sequence (roughing → diffusion pump), evaporation power, and interlock protection.
Processo de funcionamento
1Resistance thermal evaporation: the evaporation transformer supplies low-voltage high-current power to three independent evaporation electrode assemblies at the bottom of the vacuum chamber.
2Evaporation material (boat / crucible) is heated to evaporation temperature under high vacuum; vapour travels upward and condenses on the substrate (fixture-mounted above) to form the coating.
3PLC + HMI control the pump sequence (roughing → diffusion pump), evaporation power, and interlock protection.
Especificações técnicas
Especificações da variante: SED-500ZFDM-Z
Especificações
Modelo
SED-500ZFDM-Z
Tensão
220V/380V 50Hz (3-phase 4-wire)
Utilidades
Electrical: 3-phase 4-wire 380V 50Hz, 9 kW. Compressed air: dry, 0.4–0.6 MPa, 0.3 m³/h (buyer-provided). Cooling water: 20°C, flow 2 m³/h, supply pressure 0.2 MPa (buyer-provided cooling tower). Coating workshop fit-out by buyer.
Detalhes de conformidade
1-year warranty from machine delivery. Long-term spare parts available at preferential pricing. Payment: 50% deposit upon contract signing; 50% balance before machine leaves factory. Delivery: 40 days from deposit.
Potência
9 kW
Pressão de ar
0.4-0.6 MPa air supply (user-provided), 0.2 MPa cooling water
Dimensões
Comprimento
1100 mm
Largura
1200 mm
Altura
1700 mm
Área de instalação
Overall 1100 × 1200 × 1700 mm (L×W×H); footprint 2.3 m² (main unit ~1.5 m wide × 1.5 m deep). Buyer to provide: compressed air 0.4–0.6 MPa, 0.3 m³/h; cooling water 20°C, 2 m³/h, supply pressure 0.2 MPa; electrical power 3-phase 4-wire 380V 50Hz 9 kW. Water / power / air connections to machine inlets.
Materiais
Materiais de contato
Stainless steel (vacuum chamber interior)
Materiais do corpo
Stainless steel vacuum chamber; painted external shell and door
Características principais
Ultimate vacuum 2.8×10⁻³ Pa (clean, no-load)
Pump-down from atmosphere to 5×10⁻² Pa ≤6 min
Three independent resistance-evaporation systems
Vacuum chamber: stainless steel D500×500 mm, one viewing window
Two gauge-tube ports on chamber sides; two 32 mm reserved ports on chamber top
Pumps: 2X-15 rotary-vane (1.5 kW) + KT-300 diffusion (3 kW) — Nanguang
ZDF-X-LED composite vacuum gauge — auto low/high vacuum switching
Evaporation transformer 3 kVA/12 V × 3 — Shanghai Renmin Electric
Inovance + Schneider + CHINT electrical components
MCGS 7" touchscreen HMI + Inovance PLC
Water-pressure-loss / gas-pressure-loss auto alarm and interlock
Full automatic + manual control
Compact footprint: 2.3 m² (1100×1200×1700 mm)
Developed from multiple vacuum coating technologies — versatile evaporation capability
Compact and easy-to-maintain (2.3 m² footprint)
Three independent evaporation systems for multi-material coatings
Designed for R&D, teaching, and small-batch prototyping
Aplicações
Metal film deposition
Metal-compound film deposition
Alloy film deposition
Decorative film coating
Electrical film coating
Optical film coating
Coating on plastic parts, glass lenses, acoustic components, magnetic components
Setores
Scientific research laboratory
University teaching
Electronic components
Optics
Coating prototyping / sample production
Marcas dos componentes
2X-15 rotary-vane vacuum pump (1.5 kW): Nanguang
KT-300 diffusion pump (3 kW): Nanguang
ZDF-X-LED composite vacuum gauge: Chengdu Zhenghua
Evaporation transformer 3 kVA/12 V × 3: Shanghai Renmin Electric
Electrical components: Inovance/Schneider/CHINT
7" HMI touchscreen: MCGS
PLC: Inovance
SED
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Documentação
Ficha técnica (PDF)
Visão geral do equipamento, especificações e dimensões · Documento original (inglês)
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Manual do operador
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Protocolos IQ / OQ / PQ
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Protocolos FAT / SAT
Testes de aceitação na fábrica e no local · Documento original (inglês)
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Desenhos CAD (STEP / IGES / DWG)
Desenhos de engenharia para a instalação · Documento original (inglês)
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Certificados de calibração
Nível sonoro, resistência de terra, rigidez dielétrica e rugosidade · Documento original (inglês)
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DQ (qualificação do projeto)
Protocolo completo de qualificação do projeto · Documento original (inglês)
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Certificados de materiais
Composição do aço inoxidável 316L · Documento original (inglês)
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