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SED-500ZFDM-Z
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SED-500ZFDM-Z — Small / Laboratory-Type Vacuum Evaporation Coating Machine
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SED-500ZFDM-Z Small/Lab-Type Vacuum Evaporation Coating Machine . High-vacuum coater developed by combining multiple vacuum coating technologies; designed for scientific research,teaching,sample prototyping,and board-lev
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Funktionsweise
Resistance thermal evaporation: the evaporation transformer supplies low-voltage high-current power to three independent evaporation electrode assemblies at the bottom of the vacuum chamber. Evaporation material (boat / crucible) is heated to evaporation temperature under high vacuum; vapour travels upward and condenses on the substrate (fixture-mounted above) to form the coating. PLC + HMI control the pump sequence (roughing → diffusion pump), evaporation power, and interlock protection.
Prozessbeschreibung
1Resistance thermal evaporation: the evaporation transformer supplies low-voltage high-current power to three independent evaporation electrode assemblies at the bottom of the vacuum chamber.
2Evaporation material (boat / crucible) is heated to evaporation temperature under high vacuum; vapour travels upward and condenses on the substrate (fixture-mounted above) to form the coating.
3PLC + HMI control the pump sequence (roughing → diffusion pump), evaporation power, and interlock protection.
Technische Daten
Technische Daten für Variante: SED-500ZFDM-Z
Technische Daten
Modell
SED-500ZFDM-Z
Spannung
220V/380V 50Hz (3-phase 4-wire)
Versorgung
Electrical: 3-phase 4-wire 380V 50Hz, 9 kW. Compressed air: dry, 0.4–0.6 MPa, 0.3 m³/h (buyer-provided). Cooling water: 20°C, flow 2 m³/h, supply pressure 0.2 MPa (buyer-provided cooling tower). Coating workshop fit-out by buyer.
Konformitätsangaben
1-year warranty from machine delivery. Long-term spare parts available at preferential pricing. Payment: 50% deposit upon contract signing; 50% balance before machine leaves factory. Delivery: 40 days from deposit.
Leistung
9 kW
Luftdruck
0.4-0.6 MPa air supply (user-provided), 0.2 MPa cooling water
Abmessungen
Länge
1100 mm
Breite
1200 mm
Höhe
1700 mm
Aufstellfläche
Overall 1100 × 1200 × 1700 mm (L×W×H); footprint 2.3 m² (main unit ~1.5 m wide × 1.5 m deep). Buyer to provide: compressed air 0.4–0.6 MPa, 0.3 m³/h; cooling water 20°C, 2 m³/h, supply pressure 0.2 MPa; electrical power 3-phase 4-wire 380V 50Hz 9 kW. Water / power / air connections to machine inlets.
Werkstoffe
Kontaktwerkstoffe
Stainless steel (vacuum chamber interior)
Gehäusewerkstoffe
Stainless steel vacuum chamber; painted external shell and door
Wesentliche Merkmale
Ultimate vacuum 2.8×10⁻³ Pa (clean, no-load)
Pump-down from atmosphere to 5×10⁻² Pa ≤6 min
Three independent resistance-evaporation systems
Vacuum chamber: stainless steel D500×500 mm, one viewing window
Two gauge-tube ports on chamber sides; two 32 mm reserved ports on chamber top
Pumps: 2X-15 rotary-vane (1.5 kW) + KT-300 diffusion (3 kW) — Nanguang
ZDF-X-LED composite vacuum gauge — auto low/high vacuum switching
Evaporation transformer 3 kVA/12 V × 3 — Shanghai Renmin Electric
Inovance + Schneider + CHINT electrical components
MCGS 7" touchscreen HMI + Inovance PLC
Water-pressure-loss / gas-pressure-loss auto alarm and interlock
Full automatic + manual control
Compact footprint: 2.3 m² (1100×1200×1700 mm)
Developed from multiple vacuum coating technologies — versatile evaporation capability
Compact and easy-to-maintain (2.3 m² footprint)
Three independent evaporation systems for multi-material coatings
Designed for R&D, teaching, and small-batch prototyping
Anwendungen
Metal film deposition
Metal-compound film deposition
Alloy film deposition
Decorative film coating
Electrical film coating
Optical film coating
Coating on plastic parts, glass lenses, acoustic components, magnetic components
Branchen
Scientific research laboratory
University teaching
Electronic components
Optics
Coating prototyping / sample production
Komponentenhersteller
2X-15 rotary-vane vacuum pump (1.5 kW): Nanguang
KT-300 diffusion pump (3 kW): Nanguang
ZDF-X-LED composite vacuum gauge: Chengdu Zhenghua
Evaporation transformer 3 kVA/12 V × 3: Shanghai Renmin Electric
Electrical components: Inovance/Schneider/CHINT
7" HMI touchscreen: MCGS
PLC: Inovance
SED
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Überblick, technische Daten und Abmessungen · Originaldokument (Englisch)
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