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SED-500ZFDM-Z
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SED-500ZFDM-Z — Small / Laboratory-Type Vacuum Evaporation Coating Machine
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SED-500ZFDM-Z Small/Lab-Type Vacuum Evaporation Coating Machine . High-vacuum coater developed by combining multiple vacuum coating technologies; designed for scientific research,teaching,sample prototyping,and board-lev
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Fonctionnement
Resistance thermal evaporation: the evaporation transformer supplies low-voltage high-current power to three independent evaporation electrode assemblies at the bottom of the vacuum chamber. Evaporation material (boat / crucible) is heated to evaporation temperature under high vacuum; vapour travels upward and condenses on the substrate (fixture-mounted above) to form the coating. PLC + HMI control the pump sequence (roughing → diffusion pump), evaporation power, and interlock protection.
Processus de fonctionnement
1Resistance thermal evaporation: the evaporation transformer supplies low-voltage high-current power to three independent evaporation electrode assemblies at the bottom of the vacuum chamber.
2Evaporation material (boat / crucible) is heated to evaporation temperature under high vacuum; vapour travels upward and condenses on the substrate (fixture-mounted above) to form the coating.
3PLC + HMI control the pump sequence (roughing → diffusion pump), evaporation power, and interlock protection.
Caractéristiques techniques
Caractéristiques de la variante : SED-500ZFDM-Z
Caractéristiques
Modèle
SED-500ZFDM-Z
Tension
220V/380V 50Hz (3-phase 4-wire)
Fluides et énergie
Electrical: 3-phase 4-wire 380V 50Hz, 9 kW. Compressed air: dry, 0.4–0.6 MPa, 0.3 m³/h (buyer-provided). Cooling water: 20°C, flow 2 m³/h, supply pressure 0.2 MPa (buyer-provided cooling tower). Coating workshop fit-out by buyer.
Détails de conformité
1-year warranty from machine delivery. Long-term spare parts available at preferential pricing. Payment: 50% deposit upon contract signing; 50% balance before machine leaves factory. Delivery: 40 days from deposit.
Puissance
9 kW
Pression d’air
0.4-0.6 MPa air supply (user-provided), 0.2 MPa cooling water
Dimensions
Longueur
1100 mm
Largeur
1200 mm
Hauteur
1700 mm
Emprise au sol
Overall 1100 × 1200 × 1700 mm (L×W×H); footprint 2.3 m² (main unit ~1.5 m wide × 1.5 m deep). Buyer to provide: compressed air 0.4–0.6 MPa, 0.3 m³/h; cooling water 20°C, 2 m³/h, supply pressure 0.2 MPa; electrical power 3-phase 4-wire 380V 50Hz 9 kW. Water / power / air connections to machine inlets.
Matériaux
Matériaux en contact
Stainless steel (vacuum chamber interior)
Matériaux du bâti
Stainless steel vacuum chamber; painted external shell and door
Caractéristiques principales
Ultimate vacuum 2.8×10⁻³ Pa (clean, no-load)
Pump-down from atmosphere to 5×10⁻² Pa ≤6 min
Three independent resistance-evaporation systems
Vacuum chamber: stainless steel D500×500 mm, one viewing window
Two gauge-tube ports on chamber sides; two 32 mm reserved ports on chamber top
Pumps: 2X-15 rotary-vane (1.5 kW) + KT-300 diffusion (3 kW) — Nanguang
ZDF-X-LED composite vacuum gauge — auto low/high vacuum switching
Evaporation transformer 3 kVA/12 V × 3 — Shanghai Renmin Electric
Inovance + Schneider + CHINT electrical components
MCGS 7" touchscreen HMI + Inovance PLC
Water-pressure-loss / gas-pressure-loss auto alarm and interlock
Full automatic + manual control
Compact footprint: 2.3 m² (1100×1200×1700 mm)
Developed from multiple vacuum coating technologies — versatile evaporation capability
Compact and easy-to-maintain (2.3 m² footprint)
Three independent evaporation systems for multi-material coatings
Designed for R&D, teaching, and small-batch prototyping
Applications
Metal film deposition
Metal-compound film deposition
Alloy film deposition
Decorative film coating
Electrical film coating
Optical film coating
Coating on plastic parts, glass lenses, acoustic components, magnetic components
Secteurs
Scientific research laboratory
University teaching
Electronic components
Optics
Coating prototyping / sample production
Marques des composants
2X-15 rotary-vane vacuum pump (1.5 kW): Nanguang
KT-300 diffusion pump (3 kW): Nanguang
ZDF-X-LED composite vacuum gauge: Chengdu Zhenghua
Evaporation transformer 3 kVA/12 V × 3: Shanghai Renmin Electric
Electrical components: Inovance/Schneider/CHINT
7" HMI touchscreen: MCGS
PLC: Inovance
SED
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Documentation
Fiche technique (PDF)
Aperçu de l’équipement, caractéristiques et dimensions · Document d’origine (anglais)
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Manuel opérateur
Installation, fonctionnement et dépannage · Document d’origine (anglais)
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Fiche comparative (Standard et Économique)
Comparaison des configurations · Document d’origine (anglais)
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Protocoles IQ / OQ / PQ
Documentation de validation pour la conformité GMP · Document d’origine (anglais)
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Protocoles FAT / SAT
Essais de réception en usine et sur site · Document d’origine (anglais)
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Plans CAD (STEP / IGES / DWG)
Plans d’ingénierie pour l’implantation · Document d’origine (anglais)
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Certificats d’étalonnage
Niveau sonore, résistance de terre, rigidité diélectrique et rugosité · Document d’origine (anglais)
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DQ (qualification de la conception)
Protocole complet de qualification de la conception · Document d’origine (anglais)
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Certificats matières
Composition de l’acier inoxydable 316L · Document d’origine (anglais)
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