Accueil / Équipements / Métalliseuse par évaporation de laboratoire / Laboratory Vacuum Evaporation Coating Machine
SED-450ZFDM-J
Sur devis
SED-450ZFDM-J
SED · SED-450ZFDM-J · En vedette
SED-450ZFDM-J — Laboratory Vacuum Evaporation Coating Machine
La description complète de ce modèle est encore en cours de traduction. Consultez les détails en anglais ou demandez des informations à notre équipe. English
The SED-450ZFDM-J is a laboratory-scale metalization (vacuum coating) machine combining thermal evaporation and DC magnetron sputtering. The single-door vacuum chamber is Φ450 × H400 mm with an observation window and a s
Délai de livraison
Sur devis
Cadence
Contactez-nous
Fonctionnement
The vacuum chamber is evacuated by the rotary-vane backing pump and the KT-150 diffusion pump down to high vacuum. Substrates mounted on the 8-shaft rotating frame undergo planetary motion (revolution + rotation) for uniform coating. For evaporation, the 6 kVA/12 V transformer heats the source until the metal evaporates and condenses on the substrates. For magnetron sputtering, a 5 kW DC supply ionizes the working gas (controlled at 200 SCCM); ions sputter aluminum from the cylindrical target onto the substrates.
Processus de fonctionnement
1The vacuum chamber is evacuated by the rotary-vane backing pump and the KT-150 diffusion pump down to high vacuum.
2Substrates mounted on the 8-shaft rotating frame undergo planetary motion (revolution + rotation) for uniform coating.
3For evaporation, the 6 kVA/12 V transformer heats the source until the metal evaporates and condenses on the substrates.
4For magnetron sputtering, a 5 kW DC supply ionizes the working gas (controlled at 200 SCCM); ions sputter aluminum from the cylindrical target onto the substrates.
Caractéristiques techniques
Caractéristiques de la variante : SED-450ZFDM-J
Caractéristiques
Modèle
SED-450ZFDM-J
Caractéristiques principales
Vacuum chamber Φ450 × H400 mm, single door with one observation window, stainless-steel inner liner
Vacuum system: 2X-30 rotary-vane pump + KT-150 diffusion pump (with 150 cold trap), KF40 stainless-steel corrugated pipes
8-shaft rotating frame (Φ100), revolution-and-rotation coating mode, 40 W rotating motor
DC magnetron sputtering 5 kW source with spin-magnetic cylindrical aluminum target
Evaporation transformer 6 kVA/12 V
HY-9940B composite vacuum gauge
Mitsubishi PLC + Kunlun Tongtai touch screen
Gas flow control 200 SCCM
Comprehensive alarm: water-cooling pressure/temperature/flow, power phase loss, mechanical pump phase loss
Stainless-steel water and gas piping with pressure gauges, valves and solenoid valves
Combined evaporation + magnetron sputtering source — versatile lab-scale metalization
Famous-brand main electricals (Mitsubishi PLC, Kunlun Tongtai HMI)
Multi-protection alarm for water and power abnormalities
Applications
Laboratory-scale vacuum metalization (evaporation coating)
DC magnetron sputtering of aluminum and similar target materials
Coating small parts on a revolution-and-rotation rotating frame
Marques des composants
Rotary-vane vacuum pump (2X-30) — China
Diffusion pump KT-150 with 150 cold trap — China
PLC: Mitsubishi (Japan)
Touch screen: Kunlun Tongtai (China)
Composite vacuum gauge: HY-9940B — China
Solenoid valve VX2120V-02-4G1: SMC (Japan)
Vacuum valves GDQ-J150/GDQ-40 — China
Sputtering target: aluminum spin-magnetic cylindrical
Evaporation transformer 6 kVA/12 V — China
SED
Échangez avec SED Sales Team
Spécialistes des équipements · contact sur WhatsApp
Consultez les horaires et la disponibilité de l’équipe
Documentation
Fiche technique (PDF)
Aperçu de l’équipement, caractéristiques et dimensions · Document d’origine (anglais)
Demander au service commercial
Manuel opérateur
Installation, fonctionnement et dépannage · Document d’origine (anglais)
Demander au service commercial
Fiche comparative (Standard et Économique)
Comparaison des configurations · Document d’origine (anglais)
Demander au service commercial
Protocoles IQ / OQ / PQ
Documentation de validation pour la conformité GMP · Document d’origine (anglais)
Demander au service commercial
Protocoles FAT / SAT
Essais de réception en usine et sur site · Document d’origine (anglais)
Demander au service commercial
Plans CAD (STEP / IGES / DWG)
Plans d’ingénierie pour l’implantation · Document d’origine (anglais)
Demander au service commercial
Certificats d’étalonnage
Niveau sonore, résistance de terre, rigidité diélectrique et rugosité · Document d’origine (anglais)
Demander au service commercial
DQ (qualification de la conception)
Protocole complet de qualification de la conception · Document d’origine (anglais)
Demander au service commercial
Certificats matières
Composition de l’acier inoxydable 316L · Document d’origine (anglais)
Demander au service commercial